SFQD
SFQD( Site Front least sQuare Deviation)とは、ウェーハの裏面を真空チャックに全面吸着させ測定し、サイト毎の表面基準面からサイト表面上最高点と最低点までの距離のうち、絶対値の大きい方を出力します。
正負のいずれかをとります。最高点の場合はプラス、最低点の場合はマイナスです。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
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最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
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HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
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SOIウェハ
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クリーンクラス
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