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用語集

SFQD

SFQD( Site Front least sQuare Deviation)とは、ウェーハの裏面を真空チャックに全面吸着させ測定し、サイト毎の表面基準面からサイト表面上最高点と最低点までの距離のうち、絶対値の大きい方を出力します。
正負のいずれかをとります。最高点の場合はプラス、最低点の場合はマイナスです。

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