産業用ロボット
ティーチングプレイバックという方法で動作する産業用の機械を指す。国際標準化機構（ISO）では「3軸以上の自由度を持つ、自動制御、プログラム可能な「マニピュレーター」と定義している。
主に自動車や電子部品を生産する工場の現場で使用されており、例えば自動車の生産工場の場合、スポット溶接を行うロボット、ボディ塗装を行うロボット、部品取り付けを行うロボット等が多く見られる。
人間が作業を行うとなると、肉体的・精神的負担の大きい労働環境で導入される場合が多い。決められた動作の繰り返しや重量物の運搬、霧散している塗料を吸い込んだりする危険性が高い環境での作業の際、労働者への大きな負荷から作業ミスを誘発する恐れもあり、品質安定の面からもロボットが用いられる。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
