ヘイズ
ヘイズ(Haze)とは、光の散乱度合いのことを表し、曇り具合、曇価とも言います。
光を吸収しない透明な物体であっても、内部で光散乱を起こして透明性が低下することがあります。この光の拡散度合いをヘイズといい、ヘイズ値が大きいほど物体が白濁していることになります。例えば、透明なガラスであればヘイズは0%になりますが、プラスチックフィルムであればヘイズ値は4%となります。
ヘイズは、試験片に光を当てて、透過する全光線のうち、平行光成分を除いた拡散光成分の割合を数値化したもので、以下の計算式によって計算されます。
Haze [%] ＝ (拡散光成分 / 全光線透過率) ×100
シリコンウェハにおいては、ウェハ表面の微細な凹凸や付着物などの表面欠陥が光の散乱の原因となり、ウェハ表面が曇った状態になります。そのため、規格化されたヘイズ検査を行うことで、ウェハの最終仕上げ工程後に品質保証をすることができます。
