ポーラスチャック
ポーラスチャックとは、主に薄いものを平面に吸着・固定させるためのチャックです。ポーラスとは多孔質体のことで、スポンジのように物質の中に空洞があるものもポーラス体に含まれます。ポーラスチャックは、ポーラスを構成する粒子の粒度が小さくなればなるほど、吸着面に生じる凸凹が小さくなるため、より薄いワークでも爪を用いることなく平面で吸着することができます。産業的に利用されているポーラスチャックは、主にセラミックや金属、樹脂が材質として選定されています。またポーラスチャックは白色が市場製品の大半を占めていますが、黒や茶色に着色することも可能です。黒色などに着色することで、汚れや傷が目立ちにくくなる、また光の反射を防ぐなどの効果が得られるため、ウェハなどの繊細な製品の製造の際には着色されたポーラスチャックも多く使用されています。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
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パーティクル
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SiCウェハ
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ヘイズ
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HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン