レーザ変位計
レーザ変位計とは、物体がある位置から他の位置へ移動した際の移動量を測定するものです。
変位量だけでなく、物体の高さ／厚み／幅など、寸法測定にも使用され、用途や必要精度、使用環境に応じて、
最適なレーザ変位計を選択する必要があります。
変位計の測定方式は、光や磁界/音波などを用いた「非接触式」と、対象に直接触れて測定する「接触式」の
大きく2つに分類されます。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
