BOW
BOWは、ウェハを真空吸着せずに保持した際の形状を表すパラメータの１つで、ウェハ中心の高さとウェハ3点基準面からの距離を表します。3点基準平面よりもウェハ中心が高い場合はプラスに、低い場合はマイナスになります。
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BOWは、ウェハを真空吸着せずに保持した際の形状を表すパラメータの１つで、ウェハ中心の高さとウェハ3点基準面からの距離を表します。3点基準平面よりもウェハ中心が高い場合はプラスに、低い場合はマイナスになります。
