WARP
WARPは、ウェハを真空吸着せずに保持した際の形状を表すパラメータの１つで、ウェハ3点基準面からのズレを、ウェハ表面における最高点と最低点の高さの合計値を表します。WARPはBOWとは異なり絶対値での合計になるため、常に正の値を取ります。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
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SECS通信
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最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
