TTV
TTVはTotal Thickness Variationの略称で、ウェハをチャックに全面吸着させた際の、厚さの最大値と最小値の差を表します。BOWやWARPはウェハ3点基準面を基準にするのに対して、TTVはウェハ裏面を基準として、ウェハ全体の厚みのムラの度合いを表しています。
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TTVはTotal Thickness Variationの略称で、ウェハをチャックに全面吸着させた際の、厚さの最大値と最小値の差を表します。BOWやWARPはウェハ3点基準面を基準にするのに対して、TTVはウェハ裏面を基準として、ウェハ全体の厚みのムラの度合いを表しています。
